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國產首臺商用200千伏場發射透射電子顯微鏡發布

2025-06-29 10:06:35 來源: 科技日報 點擊數:

科技日報記者 金鳳

不管是做研究還是做研發,得先“看”到,才能做到。6月28日,蘇州博眾儀器科技有限公司(以下簡稱博眾儀器)發布國產首臺商用200千伏場發射透射電子顯微鏡BZ-F200。該顯微鏡的點分辨率達到0.25納米,晶格分辨率達到0.14納米,能夠直接分辨絕大多數材料的晶格結構。

“創業的路途是異常曲折的,我們最初沒有人才、沒有技術、沒有供應鏈,缺乏客戶與資金,困難重重下團隊也曾迷茫。是解決國家關鍵技術的堅韌信念,讓團隊走到了今天?!辈┍娋ざ麻L呂紹林在當日的發布會中坦露心跡。

透射電子顯微鏡是一種高分辨率的微觀分析儀器。顯微鏡中的電子束穿透樣品后,會攜帶樣品內部結構信息,這些信息經過放大系統成像后,可放大百萬倍,從而幫助使用者觀察原子級圖像。透射電子顯微鏡廣泛應用于納米級的研究與觀測,是材料科學、生命科學和半導體等領域研究所必需的高端儀器設備。

BZ-F200的研發歷時5年。博眾儀器技術總監梁晶博士介紹,此前,高端透射電鏡產業長期被國外儀器公司壟斷,核心零部件受到國外技術封鎖,針對這項痛點,博眾儀器陸續實現了熱場電子槍、超高穩定度電源、熱場電子源、精密加工鏡筒、納米級測角臺等核心零部件的自主生產,并在用戶先期試用中得到驗證。

梁晶介紹,該顯微鏡主要聚焦材料研發以及前沿科學領域,適用于晶格尺度的結構解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。

“經過5年的技術攻關與反復錘煉,我們已將BZ-F200從整機到每一個關鍵零部件的全鏈條關鍵技術牢牢掌握在自己手中?!辈┍妰x器總經理唐愛權表示,未來,博眾儀器將堅定專注于電子束關鍵技術,不斷完善產品線,并通過為業內提供電子束技術應用與服務,賦能產業生態建設。

如果將透射電鏡比作材料科學的“眼睛”,那么高分辨成像與電子衍射技術便是這雙眼睛的“瞳孔”?;顒蝇F場,重慶大學教授張大梁作為BZ-F200用戶代表表示:“微觀結構表征對于理解材料的應用屬性至關重要,該顯微鏡在復雜晶體結構解析、微區結構表征和納米尺度形貌分析等領域發揮著不可替代的作用。”

全國政協委員、清華大學教授段文暉認為,博眾儀器高效結合了高等院校、科研機構對儀器的基礎研究,并在短短兩年時間內實現從原型機到商用整機的正式發布,為我國的高端科研儀器發展闖出了一條新路。

人才是支撐高水平科技自立自強的重要力量。作為博眾儀器重要合作單位代表,蘇州大學校長張橋表示,蘇州大學將繼續攜手博眾儀器,全力支持中國科研儀器產業高質量發展。

責任編輯:王倩

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